用以密封处理室之开口的方法与设备

摘要

于一实施例中，一狭缝阀被提供以适用以密封一开口，该狭缝阀包含一阀壳，其具有一第一壁、一形成在该第一壁中之第一开口、一第二壁及一形成在该第二壁中之第二开口。该狭缝阀同时也包含一封闭件，具有一密封部份，适用以接触该第二壁及密封该第二开口，及一加强件，可相对于该密封部份移动并适用以接触该第一壁。该狭缝阀更包含至少一致动机制，适用以(1)将密封部份移动向该第二壁并与第二壁接触；及(2)移动该加强件离开该密封部份，并与第一壁接触，以加强该密封部份靠着该第二壁。本案也提供数种其他态样。