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发明名称
图案的形成方法及配线图案的形成方法、光电装置及电子机器
摘要
本发明的课题是在于提供一种藉由简易且低成本的手法来高精度对薄膜形成图案之图案的形成方法。其解决手段是在含昇华性色素的基材1上设置薄膜2,对基材1照射光,利用藉由光的照射而产生的热来使所望区域的昇华性材料昇华,而去除对应于光所照射的照射区域的薄膜2,藉此来使该薄膜2形成图案。
申请公布号
TW200506515
申请公布日期
2005.02.16
申请号
TW093123499
申请日期
2004.08.05
申请人
精工爱普生股份有限公司
发明人
丰田直之
分类号
G03F7/00
主分类号
G03F7/00
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
日本
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