发明名称 温度测定系统及温度测定方法
摘要 此温度测定系统100,是具备:供测定测定对象APM的温度用的第1测温体101、及供测定测定对象APM的温度用的第2测温体102、及藉由前述第1测温体101及前述第2测温体102监视测定各温度的监视部120,前述监视部120,是藉由监视前述第1测温体101测定的温度及前述第2测温体102测定的温度的差,对于前述第1测温体101或是第2测温体102检测问题。
申请公布号 TW200507142 申请公布日期 2005.02.16
申请号 TW093114796 申请日期 2004.05.25
申请人 东京威力科创股份有限公司 发明人 中塘勇
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本