发明名称 | 温度测定系统及温度测定方法 | ||
摘要 | 此温度测定系统100,是具备:供测定测定对象APM的温度用的第1测温体101、及供测定测定对象APM的温度用的第2测温体102、及藉由前述第1测温体101及前述第2测温体102监视测定各温度的监视部120,前述监视部120,是藉由监视前述第1测温体101测定的温度及前述第2测温体102测定的温度的差,对于前述第1测温体101或是第2测温体102检测问题。 | ||
申请公布号 | TW200507142 | 申请公布日期 | 2005.02.16 |
申请号 | TW093114796 | 申请日期 | 2004.05.25 |
申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 中塘勇 |
分类号 | H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/66 |
代理机构 | 代理人 | 林志刚 | |
主权项 | |||
地址 | 日本 |