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发明名称
运送组件装置
摘要
本案系指一种运送组件装置,其特征为具备以下作业:将组件W由储盒5的底部开始向上推升以提供组件的供件作业3;将由前述供件作业3所供给出的组件以真空吸引使与后面的组件W分离送出的送件作业2;以及将由前述送件作业2所送出的组件W朝送出方向搬送的输件作业4。
申请公布号
TW200507025
申请公布日期
2005.02.16
申请号
TW093116488
申请日期
2004.06.08
申请人
东京威尔斯股份有限公司
发明人
平川文广
分类号
H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
蔡清福
主权项
地址
日本
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