发明名称 运送组件装置
摘要 本案系指一种运送组件装置,其特征为具备以下作业:将组件W由储盒5的底部开始向上推升以提供组件的供件作业3;将由前述供件作业3所供给出的组件以真空吸引使与后面的组件W分离送出的送件作业2;以及将由前述送件作业2所送出的组件W朝送出方向搬送的输件作业4。
申请公布号 TW200507025 申请公布日期 2005.02.16
申请号 TW093116488 申请日期 2004.06.08
申请人 东京威尔斯股份有限公司 发明人 平川文广
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 蔡清福
主权项
地址 日本