微影装置及元件制造方法

摘要

本发明提供一种微影装置，其中藉由透过具有小于7之pH值之水溶液进行投影来执行曝光，该溶液与待曝光之基板接触。水溶液最好为抗反射顶覆层(topcoat)溶液。