清洁组成物,清洁半导体基板的方法,以及在半导体基板上形成线路的方法

摘要

一种清洁组成物，其包含：四级氢氧化铵；水溶性有机溶剂；水；抗腐蚀剂；及占溶液总量1质量百分比或更低的氢氧化钾。