使用漏电流与漏电流补偿系统的半导体测试元件

摘要

本发明是有关于一种半导体测试元件，使用漏电流以及／或漏电流的补偿系统，根据本发明各实施例的此半导体测试元件包括MOS电晶体，这些系与在半导体元件内的那些是用相似的制程制作，此半导体测试元件可以感应到正常或反常的漏电流，且会产生至少一个正常或反常的讯号作为结果，漏电流补偿系统可以根据半导体测试元件的正常与异常讯号，补偿在半导体元件中流动的漏电流。根据本发明的实施例，会透过漏电流补偿元件测试并控制半导体元件，以减少异常制作的MOS电晶体。