探针卡基板

摘要

本发明系以提供测定LSI晶片等半导体装置电子诸特性的探针卡基板为目的。一种探针卡基板，其特征为：与半导体装置检查用测定器相接触的主基板、安装有与半导体装置接触之接触元件的副基板，将两者以通电来形成电路的通路要素所构成之探针卡基板，固定接合该主基板与该副基板，以通电来连通该主基板之副基板对面的电极以及该副基板的主基板对面的电极。