使用软X射线移除物体上静电荷之装置A DEVICE FOR REMOVING ELECTROSTATIC CHARGES ON AN OBJECT USING SOFT X-RAY

摘要

一静电荷之移除器包含一头部、一软X射线保护部以及一功率控制部，该头部藉由一软x射线管产生的高能、波长范围在1.2～1.5之间的软X射中和与减弱欲移除电荷的物体上的静电荷，并直接离子化气体分子与同样地移除大气中惰性气体(N2，Ar)的静电荷。该软X射线保护部包覆该头部与防止软X射线从该头部漏出。该功率控制部以电子方式连接至该头部与该软X射线保护部并提供预定电压以控制软X射线管的细丝电压的离子产生与该软X射线管。