扫描式探针检验装置

摘要

在基板之上表面的绝缘层上形成一对接触垫，且在这两个接触垫之间的固定间隔处形成复数之贯通孔。两相邻的贯通孔交互地藉由从绝缘层暴露出来的上互连线或埋于绝缘层中的下互连线而连接，藉以构成检查图案。在此对接触垫之间接上DC电源，并对贯通孔所形成的链状结构供应固定电流Io。这两个探针顺着贯通孔所形成的链状结构而在晶片表面上移动，且同时使其保持固定的间隔距离d。故探针得以连续地扫掠过形成有贯通孔之链状结构的晶片表面上的各个上互连线。