使含有铁的蚀刻溶液再生以供铜或铜合金之蚀刻或浸酸利用之方法以及实施该方法之装置

摘要

本发明说明一种使含有铁的蚀刻溶液再生以供铜或铜合金之蚀刻或浸酸利用之方法以及实施该方法之装置。