晶圆切割机之刀具的研磨方法

摘要

一种晶圆切割机之刀具的研磨方法，该切割机包含一可沿一Z轴方向往复移动且在该Z轴方向上具有一归零高度的刀具组，及一在该Z轴方向上位于一基准高度的测高单元，该刀具组具有一主轴，及一固设于该主轴上且具有一厚度与一刃缘的刀具，该刀具组可与一具有一研磨顶面的研磨垫互相研磨，该研磨顶面在该Z轴方向上位于一第一高度，该方法包含：一、使该刀具组自该归零高度朝该测高单元移动，量测该刀具的刃缘与该测高单元之间的一第一相对距离，二、决定一研磨高度，该研磨高度是低于该第一高度一磨除量，三、使该刀具旋转并使该刀具的刃缘沿该Z轴方向移动至该研磨高度，而与该研磨垫进行研磨。