曝光装置

摘要

一种曝光装置其包括一对光栅发出曝光光线以进行照明用之光源，一设置于光源与光栅之间并随着光栅移动的可动光栅挡板，一设置有可动光栅挡板的第一照明系统罩壳，以及抑制或除去因可动光栅挡板之移动而传递到第一照明系统罩壳之震动的防震装置。此曝光装置让光栅与基板同步移动，以将光栅的图案曝光在基板上，由于有防震装置之设计，所以此曝光装置即使因其可动光罩挡板等移动体之移动而发生震动，也不会对曝光精确度产生影响。