振荡检测方法及其装置

摘要

一种振荡检测方法及其装置，用以检验一待测元件之特性，该检测方法首先是以至少一振动频率振荡该待测元件，并在该待测元件振荡过程中，量测该待测元件之一物理参数；而后判断该物理参数是否于一预设范围内。依该检测方法所设计之振荡检测装置，则包括一振荡该待测元件之振动器，以及一量测该物理参数的量测器；其特征在于该振荡检测装置更包含一控制该振动器以至少一振动频率振荡该待测元件并控制该量测器于该待测元件被振荡期间量测该物理参数的控制器。