惯性感测器性能调整装置

摘要

一种惯性感测器性能调整装置，其系由悬浮结构与微电镀结构组成，该悬浮结构可由牺牲层技术之微面型加工技术，或微体型加工技术配上薄膜制程制作而成，该悬浮结构之一端固设于一支撑件上，使该悬浮结构之另一端呈悬浮状态，透过微电镀制程于悬浮结构之呈悬浮状态之一端成型微电镀结构，作为惯性感测器之惯性质量块，透过微电镀制程可改变微电镀结构大小，使惯性感测器适用于不同等级之感测，并且利用制程上所选用材料为金属之优点来达到高深宽比(High Aspect–Ratio)微小结构中，侧向感测或驱动讯号设置之目的。