电晶体制造方法、电光装置及电子设备

摘要

具有顶闸极结构的电晶体中，使用涂覆法形成一部分闸极绝缘膜。此时，适当设定其上形成涂覆膜之半导体膜的尺寸，对应于涂覆液的性质、涂覆条件、涂覆膜所需的膜厚度。增进电晶体的电性和可靠度。