发明名称 乾燥空气供给装置
摘要 本发明提供一种乾燥空气供给装置,用以供应水分及有机物质均已被移除的乾燥空气进入目标空间内。该装置包括:多数个转子,被串联地装设,每一转子均被配置以承载一吸附剂于其上且被旋转地支撑;分隔构件,被安排在转子的最外部末端部位处及转子之间,使将每一转子之旋转区分隔成为一吸附区、一再生区及一冷却区;一驱动构件,用以旋转地驱动转子;一供应路径,允许被吸取空气通过吸附区,以获致水分与有机物质已被移除之乾燥空气,且其供应乾燥空气进入目标空间内;及一排气路径,允许一部份之乾燥空气通过冷却区,然后加热被冷却空气,且然后允许被加热空气通过再生区,以使自吸附剂分离被吸附剂所吸附之水分与有机物质。
申请公布号 TW200507017 申请公布日期 2005.02.16
申请号 TW093111343 申请日期 2004.04.23
申请人 霓佳斯股份有限公司 发明人 儿玉法明;黑泽正司;山下胜宏
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 赖经臣;宿希成
主权项
地址 日本