量测薄膜应变之方法及结构

摘要

一种量测薄膜应变的方法及结构，应用于面型微细加工制程中量测薄膜残余应变，残余应变分布梯度，热膨胀系数或热膨胀梯度分布。在形成微机电元件的薄膜时，同时形成一同平面应变规及一出平面应变规，经由同平面应变规及出平面应变规，可以量测薄膜残余应变及其梯度分布。薄膜经过热处理后，可以量测热膨胀系数及热膨胀梯度分布。