| 摘要 |
本发明系有关具有官能基，于宽广波长范围具有高透明性之含氟之聚合物及由该含氟之聚合物所成之光阻用组成物。具有由下述一般式(1)所示含氟二烯聚合之单体单元之含氟聚合物(A)，其制造方法及以含氟之聚合物(A)为基质之光阻组成物。CF2＝CFCH2CH－Q－CH2CH＝CH2(1)但，Q所示为(CH2)aC(CF3)2OR^4(a为0～3之整数，R^4为具有醚性氧原子亦可之碳数20以下之烷基、含氟烷基、碳数6以下之烷氧基羰基或CH2R^5(R^5为碳数6以下之烷氧基羰基))，或(CH2)^dCOOR^6(d为0或1，R^6为氢原子，碳数20以下之烷基或含氟烷基)。093123014-p01.bmp |
