薄膜半导体基板、制造薄膜半导体基板之方法、结晶化方法、结晶化装置、薄膜半导体装置及制造薄膜半导体装置之方法

摘要

一种薄膜半导体基底，其具有：一绝缘基底、形成于该绝缘基底上之一非结晶半导体薄膜、及设置于该半导体薄膜上且指示结晶参考位置之复数对准标记。