微影装置及制造元件方法

摘要

本发明系揭示一种微影投射装置，其中一液体供给系统将一液体提供至一投射系统PL之一最终元件与一基板W间之一空间2，液体供给系统包含一封闭构件4。一液体封闭即藉由液体自封闭构件之一入口6流至一出口8而形成。