发明名称 缺陷修正装置及缺陷修正方法
摘要 本发明,包括藉由与参考影像进行比较检查出面板上缺陷的缺陷检出部(41)、与对驱动回路因子(23)上或配线(21、22)上的缺陷设定修复禁止区域(KA)之禁止区域设定部39、以及将禁止区域(KA)相关部分以外之缺陷部分与禁止区域(KA)无关的缺陷设定为修复区域的修复区域设定部(44)、与对修复区域设定修复顺序优先度的优先度设定部(5)、与依优先度修复缺陷的修复部(31)等所构成的缺陷修复装置及其缺陷修复方法。
申请公布号 TW200506347 申请公布日期 2005.02.16
申请号 TW093111858 申请日期 2004.04.28
申请人 奥林柏士股份有限公司 发明人 堀内一仁;秋山周次;阿部政弘;大西孝明
分类号 G01N21/88;G02F1/13;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人 彭秀霞
主权项
地址 日本