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经营范围
发明名称
缺陷修正装置及缺陷修正方法
摘要
本发明,包括藉由与参考影像进行比较检查出面板上缺陷的缺陷检出部(41)、与对驱动回路因子(23)上或配线(21、22)上的缺陷设定修复禁止区域(KA)之禁止区域设定部39、以及将禁止区域(KA)相关部分以外之缺陷部分与禁止区域(KA)无关的缺陷设定为修复区域的修复区域设定部(44)、与对修复区域设定修复顺序优先度的优先度设定部(5)、与依优先度修复缺陷的修复部(31)等所构成的缺陷修复装置及其缺陷修复方法。
申请公布号
TW200506347
申请公布日期
2005.02.16
申请号
TW093111858
申请日期
2004.04.28
申请人
奥林柏士股份有限公司
发明人
堀内一仁;秋山周次;阿部政弘;大西孝明
分类号
G01N21/88;G02F1/13;H01L21/66
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
彭秀霞
主权项
地址
日本
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