废气之处理方法与装置

摘要

本发明系关于含氟化合物的废气之处理方法与装置。根据本发明包括在氧气存在的情况下加热废气，接着添加水至废气中以分解或氧化该氟化合物。根据本发明的装置包括用于加热废气的加热段(30)、将废气供至加热段(30)的废气供应器(11)、正好位于加热段(30)下游，藉由供应水或氢气至该废气而将水加至废气中的加水段(40)；以及用以移除由废气与水之间的反应所产生的酸气之酸气移除段(13)。