微型机器及其制造方法

摘要

本发明系Q值高且频带更高之高频滤波器用之微型机器。微型机器1系包含：设于基板5上之输出电极7；以覆盖基板5之状态而设，且包含以输出电极7为底部之孔图案9a之层间绝缘膜9；及以孔图案9a内为空间部A而利用横跨其上部方式设于层间绝缘膜9上之带状之振动器电极11；其特征在于振动器电极11系沿着孔图案9a之侧壁而在孔图案9a侧设成凹状。