应用流体流动支撑器制造电子电路之系统

摘要

一种用于在制造过程中支撑平基板之系统及方法，其采用一在一第一流体压力及一第一流动体积上运作之流体流动支撑器。将一高压力、低体积之流体输入加以转换以减少压力且增大体积。该系统及方法可用于浮动正经历电路制造操作的制造中之电路，如平面显示器。