侦测透明材料中缺陷之方法及装置

摘要

一种用于侦测透明材料中之缺陷之方法包括：藉由第一辐射源来辐照材料中之明确局部容积，并将光线自第二辐射源耦合入材料内。光线自第二辐射源耦合入材料内，以使得局部容积中之光线的光径在材料内部延伸。局部容积中缺陷之存在系藉由光散射、明视场吸收及／或缺陷所引起的第一辐射源之光线的偏转来确知。一种用于侦测材料中之缺陷之装置包括用于照射明确局部容积的第一辐射源、用于侦测源自该局部容积之光线的侦测器及第二辐射源。第二辐射源相对于材料配置以使得局部容积中的相关光径在材料内部独占地通过。