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发明名称
减低有毒气体逸散之方法及其装置
摘要
一种减低有毒气体逸散之方法,包括下列步骤:提供一中空壳体。提供一管路,连接中空壳体,并与中空壳体形成一密闭回路。提供一过滤层,位于中空壳体内部。使有毒气体之污染源位于中空壳体内部。强制密闭回路内之气体对流,使气体依序流经有毒气体之污染源以及过滤层,藉以过滤有毒气体同时避免有毒气体逸散。
申请公布号
TW200505774
申请公布日期
2005.02.16
申请号
TW092122074
申请日期
2003.08.12
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司
发明人
张瑞鸿;方君立;曾文宏;谢宗其;陈世雄
分类号
B65G49/07;B01D53/00
主分类号
B65G49/07
代理机构
代理人
洪澄文;颜锦顺
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区力行六路八号
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