发明名称 减低有毒气体逸散之方法及其装置
摘要 一种减低有毒气体逸散之方法,包括下列步骤:提供一中空壳体。提供一管路,连接中空壳体,并与中空壳体形成一密闭回路。提供一过滤层,位于中空壳体内部。使有毒气体之污染源位于中空壳体内部。强制密闭回路内之气体对流,使气体依序流经有毒气体之污染源以及过滤层,藉以过滤有毒气体同时避免有毒气体逸散。
申请公布号 TW200505774 申请公布日期 2005.02.16
申请号 TW092122074 申请日期 2003.08.12
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 张瑞鸿;方君立;曾文宏;谢宗其;陈世雄
分类号 B65G49/07;B01D53/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人 洪澄文;颜锦顺
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路八号