试料观察装置、边缘位置计算装置以及程式

摘要

一种试料观察装置，系利用电子束照射，并观察已形成有所希望图案之试料表面，其包括：将电子束照射于试料表面的电子枪；检测以电子束照射试料表面后由试料生成之电子的电子检测部；根据电子检测部检测出之电子，生成表示试料表面之位置、与该位置对应之电子检测部所检测出电子量的关系之信号轮廓的状态取得部；计算出试料表面上之个别位置之信号轮廓之2次微分值的微分器；根据信号轮廓之2次微分值，计算出配设于试料表面之图案之边缘位置的边缘位置计算部。