位移计及位移测定方法

摘要

本发明之位移计包含：物镜15，其投射于被测定物16；加振部，其沿着通过物镜15的光的光轴方向以特定的振幅使物镜15振动；位置测出部，其测出物镜15的位置；物镜扫描部52，其沿着与光轴方向正交的平面使物镜15移动；物镜移动测出部53，其测出物镜15移动的位置；运算处理部58，其依据藉由物镜移动测出部53所测出的测定区域内的物镜15位置资讯与在多数测定点所测定的位移量，运算在测定区域内的位移量分布；及输出部，其输出藉由运算处理部58所运算的结果。