微机械结构之检测方法及微检测结构

摘要

一种微机械结构之检测方法及微检测结构，适用于取得一微机械结构所使用之一薄膜层的机械性质，此检测方法包括先形成一微检测结构于微机械结构之一基材上，且此微检测结构之一欲检测部分系由上述之薄膜层所构成，接着振动此欲检测部分，并测量出欲检测部分之共振频率，接着经由欲检测部分之几何尺寸、密度及共振频率，而推导出欲检测部分之机械性质，以取得薄膜层之机械性质。此外，微检测结构之型态包括微悬臂梁及无边界梁。