半导体用之扫瞄工具的校正方法以及用于校正扫瞄工具的标准校正片

摘要

一种半导体用之扫瞄工具的校正方法，此方法系首先提供具有一标准图案之一晶圆，其中此标准图案之侧壁系呈斜坡状。之后利用一扫瞄工具扫瞄晶圆上之标准图案，以取得一讯号，此讯号系表现出标准图案之侧壁处的位置，利用讯号即能对扫瞄工具作X方向、Y方向以及Z方向之校正。由于本发明之方法不但能对扫瞄工具作X方向与Y方向之校正，而且还能对Z方向作校正，因此，可以改善知技术因无法校正Z方向而使扫瞄工具仍有偏差之问题。