离子束入射角偏移之检测设备及方法

摘要

一种离子束入射角偏移之检测设备及方法，此设备系由离子束发射源、晶圆固定装置以及离子束感测装置所组成。检测的方法则系将离子束发射源配置于相对晶圆固定装置之处，而离子束感测器装置则配置于晶圆固定装置的一侧，用以接收离子束发射源所发出之离子束。将入射角有偏移量的离子束测得之电流值与入射角无偏移量之离子束所测得之电流值作比较，即可得知离子束入射用的偏移量。