| 摘要 |
本发明之目的是提供可以以维持基板本身所具有之平坦度之状态保持上述基板，藉以能够进行精密之测定或处理、检查等之基板保持具，基板处理装置，基板检查装置及其等之使用方法。本发明之解决手段是一种基板保持具，用来将基板稳定地保持在板面上之指定位置，具有：流体层形成机构11b，11d，位于基板S之下面和上述板面11a之间，用来形成使基板S浮上之流体层；和定位机构13，利用上述流体层稳定的保持上述基板S，和顶接在利用上述流体层浮上之上述基板之至少下面或侧面，藉以将上述基板定位在上述板面11a上之指定位置。 |
