| 摘要 |
一种重叠精密测定标示，用于测定积体电路结构之两个或多个层之间之相对位置，其包括与第一层相联系，且详言之在第一层之上显影之第一标示部分及与第二层相联系，且详言之在第二层之上显影之第二标示部分，其中，当标示被恰当对准时，第一及第二标示部分共同构成至少一对测试区域，每一测试区域包括作为第一标示部分之一部分而形成之第一标示区段及作为第二标示部分之一部分而形成之第二标示区段，每一标示区段包括复数个邻近设置为平行阵列之延伸矩形结构，以形成该测试区域，从而使在每一测试区域之标示结构在测试区域内以第一方向对准，而相对于以第二方向对准之至少一个其他测试区域内之标示结构大体上成90°，其中构成该区域或每一区域之测试区域相对于另一个区域沿着该等方向之一平行设置。本发明也描述了一种重叠误差之标示方法及一种重叠误差之测定方法。 |
