互补分遮罩,遮罩制造方法及程式

摘要

一种能抑制湿洗法所导致图案变形之互补分割方法，其包含下列步骤：决定一有界分割长度，以便在湿洗时能抑制该图案变形，且假设该图案变形超过弹性限制之图案宽度及距离，相当容易由先前湿洗法获得；分割该纵向方向中所决定分割长度之整个线及空间图案，以便藉由简单演算法适当分割该线及空间之图案；及进一步提供一种遮罩制造方法及程式。