发明名称 Method for manufacturing a semiconductor memory device
摘要
申请公布号 EP0840371(A3) 申请公布日期 2005.02.16
申请号 EP19970308636 申请日期 1997.10.29
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 BAN, HYO-DONG;CHOE, HYUN-CHEOL;CHOI, CHANG-SIK
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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