| 发明名称 |
MICROSCOPE ARRANGEMENT FOR ANALYSING A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1506446(A1) |
申请公布日期 |
2005.02.16 |
| 申请号 |
EP20030729893 |
申请日期 |
2003.05.21 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
PEITER, MARTIN;VOGEL, MANDY |
| 分类号 |
G02B21/00;G02B21/26;(IPC1-7):G02B21/00 |
主分类号 |
G02B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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