| 发明名称 |
FLOATING SHIELD IN A TRIODE SPUTTERING APPARATUS PROTECTING THE BASE FROM THE DISCHARGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3544445(A) |
申请公布日期 |
1970.12.01 |
| 申请号 |
USD3544445 |
申请日期 |
1966.09.01 |
| 申请人 |
BENDIX CORP.:THE |
发明人 |
ROGER M. MOSESON;JOHN H. SMITH |
| 分类号 |
C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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