发明名称 半导体装置
摘要 本发明提供一种于其邻近区域具低介电常数材质的半导体装置。包括:一装置,包括一栅极,于该基底上;一导电插栓,邻近该栅极且与该装置产生电性连接;以及一低介电常数材质,设置于该栅极与该导电插栓之间,以降低其寄生电容。由此,可制作出高密度且不致降低操作速度的装置。
申请公布号 CN1581507A 申请公布日期 2005.02.16
申请号 CN200410003178.8 申请日期 2004.02.24
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 胡正明;邓端理;曾鸿辉
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 王一斌
主权项 1.一种半导体装置,包括:一基底;一装置,有一栅极于该基底上;一导电插栓,邻近该栅极且与该装置产生电性连接;以及一低介电常数材质,设置于该栅极与该导电插栓之间。
地址 台湾省新竹科学工业园区