固态图像传感器件及其制造方法

摘要

构造一种固态图像传感器件，其中在光接收传感器部分一端提供电荷转移部分，电荷转移部分由多层电荷转移电极2A、2B组成，并且在多层电荷转移电极的各层电荷转移电极2A、2B的侧表面上形成的侧壁绝缘层11、8。一种形成上述固态图像传感器件的制造方法，包含用于形成电荷转移电极2A、2B的过程和用于在整个表面上形成绝缘薄膜，并且通过在这种绝缘薄膜上实现回蚀刻处理，在各层电荷转移电极2A、2B的侧表面上形成侧壁绝缘层11、8的过程。提供所述固态图像传感器件和这种固态图像传感器件的制造方法是可能的，该固态图像传感器件具有这种结构：电荷转移电极由于当隔层绝缘体在电荷转移电极上被形成时所引起的氧化作用而引起的尺寸减小能够被抑制，并且所述固态图像传感器件的像素数目能够增加，所述固态图像传感器件的密度能够增大。

主权项

1、一种固态图像传感器件，包含：光接收传感器部分；在所述光接收部分一端提供的电荷转移部分；构成所述电荷转移部分的多层电荷转移电极；和在所述多层电荷转移电极的各层电荷转移电极的侧表面上形成的侧壁绝缘层。