MEMS器件及其制造方法以及MEMS组件

摘要

本发明提供一种在对电极和可动基板进行布线时容易进行引线接合的MEMS器件、不损伤该MEMS器件的驱动部分等而进行切割的制造方法、以及装有该MEMS器件的MEMS组件。包括设置电极(2)的第1基材(1)、至少具有可动部(3a)和外周支撑部(3b)的可动基板(3)、和具有凹部(6)的第2基材(5)，通过接合第1基材(1)、可动基板(3)以及第2基材(5)，形成使凹部(6)为其一部分的空间部(7)，通过在电极(2)和可动部(3a)之间施加电压，可动部(3a)在空间部(7)的内部动作，其中上述可动部(3a)上的电压经由外周支撑部(3b)而施加，并且，第1基材(1)的一部分比第2基材(5)的侧面更向外侧突出。

主权项

1.一种MEMS器件，包括设置电极的第1基材、至少具有可动部和外周支撑部的可动基板、和具有凹部的第2基材，通过接合上述第1基材、上述可动基板以及上述第2基材，形成使上述凹部为其一部分的空间部，通过在上述电极和上述可动部之间施加电压，上述可动部在上述空间部的内部动作，其中上述可动部上的电压经由上述外周支撑部而施加，其特征在于，上述第1基材的一部分比上述第2基材的侧面更向外侧突出。