移动装置的位置误差评价方法和改善移动精度的方法

摘要

在相互垂直的二轴或三轴方向上移动可移动物体的移动装置中，由连续二点法，利用关于与上述二或三轴中的确定二轴方向相垂直的一个方向的移动物体的位置误差来确定表示可移动物体在沿预定二轴线方向中的单轴方向的位置误差变化状态的直线误差曲线；对该二轴方向中的另一单轴方向重复直线误差曲线确定。

主权项

1.一种移动装置的位置误差评价方法，包括以下步骤：在相互垂直的二轴或三轴方向上移动可移动物体的移动装置中，由连续二点法获得表示所述可移动物体在沿所述二轴或三轴方向中预定的二轴方向中的单轴方向上位置误差变化状态的直线误差曲线，对于所述二轴方向中的另一单轴方向重复上述步骤，所述的位置误差与垂直于所述预定二轴方向的一个方向有关；根据一组已获得的所述直线误差曲线二端的坐标位置，获得表示在可移动物体沿另一单轴方向的位置误差中的变化状态的直线误差曲线，所述位置误差与垂直于所述预定二轴方向的那个方向有关，并在作为边界直线误差曲线的二端的坐标位置上设置直线误差曲线；根据所述的边界直线误差曲线，通过修正所述直线误差曲线组的排列来获取误差表面；以及在包括所述预定二个轴线的平面上，根据所述误差表面评价所述移动物体的二维位置误差，所述的二维位置误差与垂直于平面的一个方向有关。