工作台装置用的反作用力处理系统

摘要

本发明提供工作台装置用的反作用力处理系统，无论可动部分处于哪个位置都可获得稳定性较高的定位性能。在具备经由除振机构设置在固定地板上的基座(20)、和在该基座上通过线性电动机(26)可在至少一个轴方向上移动的X滑子(25)的工作台装置中，该反作用力处理系统用于抑制由于驱动上述可动部分而产生的反作用力所导致的上述结构体的振动，其具备：多个反作用力处理致动器(21－1～21－4)，被设置在上述固定地板一侧，用于对基座在抵消上述反作用力的方向上施加推力；控制系统(10)，其在对上述线性电动机加载推力指令值(F)的同时，使上述推力指令值通过使增益可变的增益调整部(15)，以对上述多个反作用力处理致动器加载被调整过的推力指令值。

主权项

1.工作台装置用的反作用力处理系统，在具备经由除振机构而被设置在固定地板上的结构体、和在该结构体上利用驱动源可在至少一个轴方向上移动地构成的可动部分的工作台装置中，该反作用力处理系统用于抑制由于驱动上述可动部分而产生的反作用力所导致的上述结构体的振动，其特征在于，具备：推力产生机构，其被设置在上述固定地板一侧，用于对上述结构体在消除上述反作用力的方向上施加推力；控制机构，其在对上述驱动源加载推力指令值的同时，使上述推力指令值通过增益可变的增益调整机构后，对上述推力产生机构加载被调整过的推力指令值。