发明名称 发光半导体器件及其制造方法
摘要 在一种半导体发光器件的制造方法中,在GaN或AlGaN衬底上形成基于GaN的半导体部。基于GaN的半导体部包括发光膜。在基于GaN的半导体部上形成电极膜。使用导电粘合剂将导电衬底与电极膜的表面相粘接。在粘接导电衬底后,将GaN或AlGaN衬底和基于GaN的半导体部的其中之一与另一个分离开,以能形成半导体发光器件。
申请公布号 CN1581525A 申请公布日期 2005.02.16
申请号 CN200410056340.2 申请日期 2004.08.06
申请人 住友电气工业株式会社 发明人 秋田胜史
分类号 H01L33/00 主分类号 H01L33/00
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 陈平
主权项 1.一种半导体发光器件的制造方法。该方法包括下列步骤:在AlxGa1-xN(0≤x≤1)衬底上形成基于GaN的半导体部,基于GaN的半导体部包括一发光膜;在基于GaN的半导体部上形成一电极膜;使用导电粘合剂将导电衬底与电极膜的表面相粘接;在粘接导电衬底后,将AlxGa1-xN衬底和基于GaN的半导体部的其中之一与另一个分离开。
地址 日本大阪府