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发明名称 System identification to improve control of a micro-electro-mechanical mirror
摘要
申请公布号 EP1369732(A3) 申请公布日期 2005.02.16
申请号 EP20030101594 申请日期 2003.06.02
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 OETTINGER, ERIC G.;HEMINGER, MARK D.;HEATON, MARK W.
分类号 B81C99/00;G02B26/08;G02B26/10;G05D3/00;(IPC1-7):G02B26/08 主分类号 B81C99/00
代理机构 代理人
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