移动波导光开关及其制作方法

摘要

一种移动波导光开关，包括基片、波导悬臂梁、静电梳状驱动电极、平衡折梁和校准点，两对平行而置的波导悬臂梁的端部一一相对，在每对波导悬臂梁的两侧旁各设有至少一对静电梳状驱动电极，其一端通过驱动梁与相对应的波导悬臂梁端部外侧连接，另一侧通过平衡折梁与基片连接，在每对波导悬臂梁端部的内侧均设有与基片连接的校准点。本发明巧妙地设置静电梳妆驱动电极，在静电力作用下，悬臂梁的末端发生弯曲，从而实现2×2光路转换。这种开关具有驱动原理简单，响应速度快，环境振动对光路转换影响较小，自由空间发散损耗较小，悬臂梁阵列开关驱动容易控制，有较强的扩展性，工作状态稳定，低能耗、体积小，容易实现等优点。

主权项

1.一种移动波导光开关，其特征在于：包括基片、波导悬臂梁、静电梳状驱动电极、平衡折梁和校准点，两对平行而置的波导悬臂梁的端部一一相对，在每对波导悬臂梁的两侧旁各设有至少一对静电梳状驱动电极，每对静电梳状驱动电极均由与基片固定的定电极和悬于基片表面的动电极对插构成，每一动电极相互连接并通过驱动梁与相对应的波导悬臂梁端部外侧连接，每一动电极的另一侧通过平衡折梁与基片连接；在每对波导悬臂梁端部的内侧均设有与基片连接的校准点；所述静电梳状驱动电极的定电极和动电极分别与基片表面的焊接电极相连接。