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LA INVENCION SE REFIERE A UN SENSOR PARA IDENTIFICAR LAS ESTRUCTURAS MOLECULARES DENTRO DE UNA SOLUCION DE MUESTRA. EL SENSOR ESTA COMPUESTO POR UNA CAPA AISLANTE CON UNA PLURALIDAD DE CANALES INTERESPACIADOS EN SU INTERIOR QUE TIENEN ESENCIALMENTE LA MISMA DIRECCION. DICHOS CANALES TIENEN UNA PARTE INFERIOR Y, AL MENOS, DOS PAREDES LATERALES OPUESTAS A LO LARGO DE DICHA DIRECCION. LOS CANALES ADEMAS TIENEN UNAS DIMENSIONES SUBMICRONICAS. UN RECUBRIMIENTO METALICO SE APLICA SOBRE UNA DE DICHAS DOS PAREDES LATERALES OPUESTAS, EN ESENCIALMENTE CADA CANAL, Y SOBRE LA PARTE SUPERIOR DE LA CAPA DIELECTRICA ENTRE DICHOS CANALES, FORMANDO POR TANTO UN DISPOSITIVO DE MEDIDA DE IMPEDANCIA CON DICHA SOLUCION DE MUESTRA DENTRO Y ENTRE LOS CANALES ADYACENTES. SE PUEDEN APLICAR UNAS SONDAS PARA ENLAZAR ESPECIFICAMENTE CON DICHAS ESTRUCTURAS MOLECULARES, EN DONDE DICHAS SONDAS SE APLICAN O BIEN A LA PARTE AISLANTE DE LOS CANALES (DICHA PARTE INFERIOR Y LA OTRA PARED LATERAL DE DICHOS CANALES), O BIEN A LA SUPERFICIE DE LOS ELECTRODOS, O A LA PARTE DE AISLAMIENTO DE LOS CANALES, Y A LA SUPERFICIE DE LOS ELECTRODOS, A LA VEZ. ADEMAS, SE PROPORCIONA UN MEDIO PARA APLICAR UN VOLTAJE A LOS RECUBRIMIENTOS METALICOS; Y UN MEDIO PARA MEDIR LA IMPEDANCIA ENTRE LOS ELECTRODOS. ADEMAS, SE REVELA UN PROCEDIMIENTO DE FABRICACION DE UN SENSOR, PARA IDENTIFICAR LAS ESTRUCTURAS MOLECULARES DENTRO DE UNA SOLUCION DE MUESTRA. ESTE PROCEDIMIENTO INCLUYE LOS PASOS PARA FORMAR UNA PLURALIDAD DE CANALES INTERESPACIADOS EN UNA CAPA AISLANTE, TENIENDO DICHOS CANALES ESENCIALMENTE LA MISMA DIRECCION, Y TENIENDO DICHOS CANALES UNA PARTE INFERIOR Y, AL MENOS, DOS PAREDES LATERALES OPUESTAS A LO LARGO DE DICHA DIRECCION, DEPOSITAR UNA CAPA METALICA SOBRE DICHA CAPA AISLANTE MIENTRAS SE ALINEA DICHA CAPA AISLANTE CON RESPECTO A LA FUENTE DE DEPOSICION DEL METAL, DE FORMA TAL QUE LA PARTE INFERIOR DE DICHOS CANALES, Y LAS PAREDES LATERALES DE DICHOS CANALES A LO LARGO DE LA DIRECCION DE DEPOSICION, ESTEN OSCURECIDAS YNO ESTEN CUBIERTAS POR EL METAL, PARA FORMAR POR TANTO UN DISPOSITIVO DE MEDIDA DE LA IMPEDANCIA CON DICHA SOLUCION DE MUESTRA DENTRO Y ENTRE LOS CANALES ADYACENTES; Y APLICAR UNAS SONDAS PARA ENLAZAR CON DICHAS ESTRUCTURAS MOLECULARES, SIENDO APLICADAS DICHAS SONDAS BIEN A LA PARTE AISLANTE DE LOS CANALES (DICHA PARTE INFERIOR Y LA OTRA PARED LATERAL DE DICHOS CANALES) O BIEN A LA SUPERFICIE DE LOS ELECTRODOS, O A LA PARTE AISLANTE DE LOS CANALES, Y A LA SUPERFICIE DE LOS ELECTRODOS, A LA VEZ, ENFRENTE DE LA DIRECCION DE DEPOSICION. |
