| 发明名称 |
Method for generating a circular periodic structure on a basic support material |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1447714(A3) |
申请公布日期 |
2005.02.16 |
| 申请号 |
EP20030007559 |
申请日期 |
2003.04.01 |
| 申请人 |
PAUL SCHERRER INSTITUT |
发明人 |
DAVID, CHRISTIAN;SOLAK, HARUN |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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