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发明名称
VORRICHTUNG ZUR VAKUUMBEDAMPFUNG
摘要
申请公布号
AT288506(T)
申请公布日期
2005.02.15
申请号
AT20020745799T
申请日期
2002.06.21
申请人
GALILEO VACUUM SYSTEMS S.R.L.
发明人
FUSI, ANDREA
分类号
C23C14/24;C23C14/26;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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