| 主权项 |
1.一种环境杂讯振幅调制电子光斑影像振动量测 系统其特征为将处于同一表徵振动作用力下两影 像,以影像处理方式加以运算,获致将环境杂讯做 为振幅调制之目的,达增加干涉影像条纹密度及稳 定度之量测系统;本系统并可经由调变ANR値而获致 两种不同型态量测系统。 2.如申请专利范围第1项所述,一种环境杂讯振幅调 制电子光斑影像振动量测系统其中所称环境杂讯 可为自然扰动,或为人为因素所产生之微小变动量 。 3.如申请专利范围第1项所述,影像处理所运用之两 影像仅需处于同一表徵(Nominal)振动作用力,两影像 可为顺序影像或非顺序影像。 4.如申请专利范围第1项所述,两种不同型态量测系 统分别为ANR>1及ANR<1;当其条纹分析方法于ANR>1时其 亮纹得以零阶贝氏函数平方之区域最大値进行分 析,第二阶暗纹以上之暗纹得以零阶贝氏函数平方 之区域最小値进行分析;当其条纹分析方法于ANR<1 时其暗纹得以第一阶贝氏函数平方之区域最小値 进行分析,第二阶亮纹以上之亮纹得以第一阶贝氏 函数平方之区域最大値进行分析。 图式简单说明: 第一图:一种环境杂讯振幅调制电子光斑影像振动 量测系统架构图;图中标示号码1.雷射;2.光线转折 器;3.分光镜;4.反射镜;5.光线扩束器;6.待测物(Obj);7 .CCD相机(为IRM之一种);8.电脑及影像处理系统 第二图:一种环境杂讯振幅调制电子光斑影像振动 量测系统量测不同表徵推力下铝合金平板振动第 二振型干涉条纹影像图第二图(a)表徵推力为20mV、 第二图(b)表徵推力为30mV、第二图(c)表徵推力为40 mV 第三图:一种环境杂讯振幅调制电子光斑影像振动 量测系统量测不同表徵推力下铝合金平板振动第 二振型之影像灰度値与传统电子光斑影像干涉术 实验灰度値比较图;第三图(a)表徵推力为20mV、第 三图(b)表徵推力为30mV、第三图(c)表徵推力为40mV |
